Isparivački sustavi

Brooks®/MSP Turbo-Vaporizer™ isparivačku sustavi se koriste za direktno injektiranje tekućine kod oblaganja tankim slojem u vakumu. Koriste se u procesima kao Atomic Layer Deposition (ALD) i MOCVD. Ovaj sustav osigurava nisku temperaturu, nježno isparavanje i generira veoma čistu paru.